寒川教授、IEEE Nano 2016最優秀論文賞受賞
AIMR主任研究者の寒川 誠二教授が、IEEE 16th International Conference on Nanotechnology (IEEE Nano 2016)で最優秀論文賞を受賞しました。
この賞は、IEEE 16th International Conference on Nanotechnology(2016年8月22日~25日に仙台にて開催)に応募された論文の中で特に優秀なものを選び、贈呈されるものです。
今回の受賞論文は、「Defect-Free Germanium Etching for 3D Fin MOSFET Using Neutral Beam Etching」です。
関連情報
問い合わせ先
東北大学原子分子材料科学高等研究機構(AIMR) 広報・アウトリーチオフィス
TEL : | 022-217-6146 |
---|---|
E-MAIL : | aimr-outreach@grp.tohoku.ac.jp |